华为相关芯片设备制造商思凯瑞在上海贸易展上抢尽风头 | 南华早报

Ann Cao

2025-03-27

与华为技术有关联的中国半导体设备制造商思凯来(SiCarrier)，周三在上海举行的为期三天的行业活动上成为焦点，其推出的新型芯片制造工具可能有助于中国在美国出口管制下推进自主可控。在深圳市政府支持下成立四年后，思凯来在行业年度盛会Semicon China上发布了数十款新型芯片制造和测试设备。

这是其设备首次公开展示，业内人士推测这些设备可能参与了华为自研7纳米芯片的生产，该芯片于2023年首次搭载于Mate 60 Pro智能手机。公司尚未证实这些说法。

虽然公司未具体说明其设备可实现的工艺节点，但活动现场一名员工表示，包括未列入产品清单的刻蚀设备在内的部分机器，能够支持5纳米芯片生产。

这与2023年提交的一项专利相吻合，该专利描述了利用现有深紫外光刻(DUV)设备实现5纳米制程的工艺。此类先进芯片通常需要极紫外光刻技术，而该技术目前基本被禁止向中国出口。