英特尔表示新的ASML机器正在生产中，结果积极 | 路透社

工人在美国俄勒冈州希尔斯伯勒的英特尔设施前看到一台“高NA EUV”光刻系统，这张图片是路透社于2024年4月19日获得的资料图。英特尔公司/路透社提供加利福尼亚州圣荷西，2月24日（路透社）-（这篇2月24日的报道已更正为说英特尔正在使用18A制造技术来测试高NA工具，而不是使用高NA机器来开发18A制造技术，在第9段中）

英特尔(INTC.O)周一表示，来自ASML控股的前两台尖端光刻机(ASML.AS)“正在生产”中，早期数据表明它们比早期型号更可靠。在加利福尼亚州圣荷西的一次会议上，英特尔高级首席工程师史蒂夫·卡森表示，英特尔在一个季度内使用ASML的高数值孔径（NA）光刻机生产了30,000片硅晶圆，这些大圆盘可以产生数千个计算芯片。

去年，英特尔成为全球首家交付这些机器的芯片制造商，预计将生产比早期ASML机器更小、更快的计算芯片。这一举动是英特尔战略的转变，因为它在采用上一代极紫外（EUV）光刻机方面落后于竞争对手。

英特尔花了七年时间才将这些早期机器投入全面生产，这导致它失去了对台湾半导体制造公司的领先地位(2330.TW)英特尔在生产初期阶段对之前的EUV模型的可靠性感到挣扎。然而，卡森表示，ASML的新高NA机器在初步测试中比早期型号的可靠性高出约两倍。

卡森说：“我们以一致的速度生产晶圆，这对平台来说是一个巨大的好处。”

新ASML机器使用光束在芯片上打印特征，也可以用更少的曝光完成与早期机器相同的工作，从而节省时间和金钱。

卡森表示，英特尔工厂的早期结果显示，高NA机器可以用一次曝光和“个位数”的处理步骤完成早期机器需要三次曝光和约40个处理步骤的工作。

英特尔正在使用其18A制造技术，该技术计划在今年晚些时候与新一代PC芯片一起进行大规模生产，以测试高NA工具。

它表示计划将高NA机器投入全生产，配合其下一代制造技术14A，但尚未给出该技术的大规模生产日期。

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