打破技术封锁！国产高端仪器取得重大进展

◎ 科技日报记者 金凤

6月28日，苏州博众仪器科技有限公司（以下简称“博众仪器”）发布国产首台商用200千伏场发射透射电子显微镜BZ-F200。该显微镜的点分辨率达到0.25纳米，晶格分辨率达到0.14纳米，能够直接分辨绝大多数材料的晶格结构。

BZ-F200透射电镜微缩模型（左），关键部件电子源（右）。博众仪器供图

透射电子显微镜是一种高分辨率的微观分析仪器。显微镜中的电子束穿透样品后，会携带样品内部结构信息，这些信息经过放大系统成像后，可放大百万倍，从而帮助使用者观察原子级图像。透射电子显微镜广泛应用于纳米级的研究与观测，是材料科学、生命科学和半导体等领域研究所必需的高端仪器设备。

BZ-F200的研发历时5年。博众仪器技术总监梁晶博士介绍，此前，高端透射电镜产业长期被国外仪器公司垄断，核心零部件受到国外技术封锁，针对这项痛点，博众仪器陆续实现了热场电子枪、超高稳定度电源、热场电子源、精密加工镜筒、纳米级测角台等核心零部件的自主生产，并在用户先期试用中得到验证。

梁晶介绍，该显微镜主要聚焦材料研发以及前沿科学领域，适用于晶格尺度的结构解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。

“经过5年的技术攻关与反复锤炼，我们已将BZ-F200从整机到每一个关键零部件的全链条核心技术牢牢掌握在自己手中。”博众仪器总经理唐爱权表示。