我团队在高温超导磁控硅单晶生长技术领域获突破

科技日报讯 （记者魏依晨）3月15日，由中国电工技术学会主持、宁夏超导泛科技有限责任公司（以下简称“宁夏超导泛科技”）牵头组织的“高温超导磁控硅单晶生长装备、技术及应用科技成果鉴定会”在宁夏银川市举办。

据悉，宁夏超导泛科技成立于2024年12月，由宁夏盈谷实业股份有限公司、江西联创超导技术有限公司等多家企业和自然人联合投资设立。

鉴定会上，由中国科学院院士甘子钊领衔的专家委员会对项目进行了全面评估。专家一致认为，该技术填补了我国在高端硅晶体制造领域的多项空白，综合性能达到国际领先水平。

据介绍，高温超导磁控硅单晶生长装备、技术及应用的关键，在于引入高温超导磁体技术。科研团队针对高品质大尺寸硅单晶生长技术瓶颈，研制出高温超导磁控硅单晶生长装备，形成大尺寸硅单晶长棒快速、高稳定性、低含氧量的生长工艺，实现大尺寸（12英寸以上）高品质硅单晶的生产，经济和社会效益显著。

根据项目报告显示，宁夏超导泛科技自主研发的高温超导磁控硅单晶生长设备及技术，可将硅片含氧量稳定控制在5ppma（质量百万分比）以下，硅棒头尾利用率提升4%以上，生产效率提升12%，目前已拉出直径达340毫米的高品质硅棒。

甘子钊院士在评审中表示：“这是国际上首次将高温超导技术应用于磁控直拉单晶生长，为高温超导技术产业化做了很多开创性的工作，开辟了超导技术产业化新赛道。”他特别提到，该技术对实现“双碳”目标具有战略意义。

专家委员会认为，该项目解决了磁控条件下大尺寸硅单晶生长炉高温度均匀性节能型热场设计、模块化大尺寸传导冷却高温超导磁体设计、电—磁—热—流体多场耦合下硅单晶生长分析与控制等关键技术难题，取得多项创新性技术成果。科研团队研制的高温超导磁控硅单晶生长装备，在生产实践中得到了应用，这表明该项目总体技术水平已达国际领先。