荷兰政府重新收回对两台ASML工具的出口控制权,来自美国 | 路透社
Toby Sterling
ASML 标志在荷兰费尔德霍芬的总部可见,2023年6月16日。路透社/皮罗斯卡·范·德·沃乌/档案照片阿姆斯特丹,9月6日(路透社) - 荷兰政府周五表示,将扩大对某些 ASML (ASML.AS) 芯片制造设备的出口许可要求,实际上重新从美国收回对其的监管,并使两国的政策保持一致。美国此前单方面对这些工具进行了监管,作为其限制中国芯片制造商获取先进技术的运动的一部分,这些制造商可能会助长北京的技术和军事进步。
ASML 在一份声明中表示,它不期望监管的变化会影响今年或未来的收益。
总部位于荷兰的 ASML,欧洲最大的科技公司,股价在格林威治标准时间0915时下跌1.6%,报708.40欧元。
荷兰贸易部长雷内特·克莱弗在宣布更新时表示:“我做出这个决定是为了我们的安全。”
“我们看到,由于技术发展,这些特定生产机器的出口存在更多安全风险。”
尽管美国和荷兰仍在就出口政策进行谈判,但周五的决定是一个实际的举措,应该缓解两国政府之间的一些紧张关系。
相关机器,ASML 的 1970i 和 1980i DUV(深紫外线)浸没式光刻工具,约处于其产品系列的中间位置。
在美国的压力下,荷兰政府从未允许ASML向中国客户发运其最好的EUV工具,同时在2023年9月开始要求对NXT:2000系列及更高级别的DUV工具进行许可。
ASML警告中国客户不要期待在2024年开始交付这些工具。
然而在2023年10月,美国单方面开始限制ASML对1970i和1980i工具的发运,理由是它们包含一些美国零件。
荷兰议会成员对这对荷兰主权的影响提出了质疑,而ASML则在努力应对美国和荷兰的不同许可要求。
美国商务部在周四更新了其 出口规则,而更新后的荷兰规则在与光刻相关的段落中采用了美国的措辞,这是ASML的细分市场。ASML的机器使用激光帮助创建芯片的微小电路。
对1980i和1970i机器的兴趣源于中国公司如中芯国际 (0981.HK)通过在这种DUV工具下多次运行硅晶圆而成功制造先进芯片,这一过程被称为“多图案化”。在周三纽约的一次活动中,ASML首席执行官Christophe Fouquet表示,中国芯片制造商将能够使用DUV工具生产7nm、5nm,最终达到3nm技术水平的芯片——这超出了华盛顿设定的限制。
然而,使用该技术的芯片制造商将面临越来越差的良率,这使得这成为工程能力的展示,但在经济上不可行,他说。
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