光刻机的成功离不开全球供应链

本报记者  赵觉珵  褚大业    

在全球半导体行业的火热竞争中，总部位于荷兰的半导体供应商阿斯麦（ASML）时常被置于聚光灯下。作为全球最大的光刻机制造商以及唯一能够供应7纳米及以下先进制程所需的EUV（极紫外线）光刻机厂商，阿斯麦如何在复杂多变的国际环境下保持同中国的联系与合作备受关注。

在5日于上海开幕的第六届中国国际进口博览会上，阿斯麦再次参展。阿斯麦全球高级副总裁、中国区总裁沈波在接受《环球时报》记者专访时表示，阿斯麦始终重视中国市场，预计今年中国业务将占阿斯麦全球业务的20%以上。沈波同时强调，阿斯麦支持开放合作，因为光刻机的成功与整个半导体产业链的高度合作密不可分。

第五次参展进博会

今年是阿斯麦第五次参展进博会。一般来说，企业连续亮相进博会代表其对中国市场的看重，沈波也在采访中多次强调这一点。沈波对《环球时报》记者表示，借助本届进博会的平台，阿斯麦希望能使更多观众了解阿斯麦的全景光刻解决方案，与更多行业内外的伙伴进行交流。

成立于1984年的阿斯麦在1988年首次向中国交付光刻机。截至目前，阿斯麦在中国的光刻机和量测的机台装机量近1400台。此外，阿斯麦还在中国大陆设有16个办事处、12个仓储物流中心和3个致力于计算光刻以及电子束量测的开发中心。沈波对《环球时报》记者表示，在中国，阿斯麦为客户提供全景光刻解决方案，其中不仅有光刻机台，还包括计算光刻以及光学和电子束量测。今年6月，阿斯麦中国团队开发的贴合本土客户需求的计算光刻软件产品正式发布。

除提供销售及相关的维护以外，阿斯麦还和客户一起优化工艺流程，根据客户的工艺需求对全景光刻解决方案下的光刻机台、计算光刻、量测的协调和配合等进行针对性的调整。目前，阿斯麦在中国大陆的员工总人数已超过1600人，其中包括800多名客户服务工程师。沈波说，未来公司将继续发展人才队伍，更好地支持中国客户发展。

中国业务占比今年将超20%

根据阿斯麦于上月18日发布的最新财报，该公司预计今年中国业务在全球业务中的比重将超过20%。今年三季度，中国市场销售额占比高达46%，高于前两个季度的24%和8%。

沈波对《环球时报》记者分析称，中国市场在三季度的增长主要由于两方面原因：首先，发运到中国的设备主要针对成熟制程客户，本季度的大部分出货是基于2022年甚至更早的订单；其次，其他客户的需求时间节点发生了变化，这使阿斯麦能够向中国客户交付更多设备。

“我们所有的设备发运都符合出口管制规定。”沈波强调。公开资料显示，2019年以来，阿斯麦的EUV光刻机对华出口已受到限制，这一系统可以支持3纳米芯片制造，如苹果的A17 Pro芯片。今年9月起，荷兰政府关于半导体设备的出口管制新规正式生效，阿斯麦部分先进的浸润式DUV（深紫外线）光刻机出口需申请许可证。不过，阿斯麦日前表示，荷兰政府已允许该公司在今年继续发运前述被列入出口管制新规的光刻机。

上月17日，美国商务部工业与安全局（BIS）发布多项规则，更新并扩大了2022年10月7日发布的对先进半导体及其制造设备实施的一系列严格的出口管制措施。阿斯麦此前在一份声明中表示，“根据目前收到的信息，我们认为适用该新规的涉及先进芯片制造的中国大陆晶圆厂数量有限。”

沈波对《环球时报》记者表示，中国政府对半导体产业的大力支持和终端市场的增长，为中国半导体市场持续发展注入着源源不断的动力，其中成熟制程市场发展尤为突出。此外，中国本土品牌已在消费电子、个人电脑和服务器、电动汽车、新能源等重要的半导体终端市场领域占据了相当大的份额，这也为中国成熟制程市场的可持续发展奠定了基础。

“2025年是重要的增长年份”

光刻机是一种极其复杂的机器，集电子、电气、光学、机械、物理、计算、材料等众多学科为一体。在此前一段时间中，光刻机并不为大众所熟知，但重要性却在一系列事件中被反复强调。有机构统计称，阿斯麦占据全球光刻机市场份额的约60%，并且是唯一能够生产EUV光刻机的企业。

沈波告诉《环球时报》记者，光刻机内部构造复杂，由大量零部件组成，需要来自全球的供应链伙伴提供。而阿斯麦能够取得成功的原因之一，就是坚持开放式创新，得到了不同领域全球范围内顶尖合作伙伴的持续支持，共同推动技术进步。“光刻机的成功与整个半导体产业链的高度合作密不可分。”

此外，沈波分享称，阿斯麦每年均投入大量资金开展研发。2022年全年，阿斯麦研发投入超过33亿欧元，约占净销售的15.6%。2023年的研发投入预计将达到销售额的20%左右。

在采访中，沈波分享了阿斯麦对于全球半导体市场走向的预期。他认为，全行业都期待能在今年年底看到拐点，但2024年的复苏态势尚不明朗。他坚信“2025年是重要的增长年份”。

近期全球半导体市场处于下行周期。据国际半导体产业协会（SEMI）预测，受终端需求疲软影响，今年全球半导体制造设备销售额可能下滑至874亿美元，同比减少18.6%。SEMI同时预测，尽管今年处于第二位，但到2024年，中国大陆的半导体制造设备销售额将重返全球第一。▲