光刻机巨头ASML回应荷兰最新出口管制：并不适用于所有DUV

吕栋[email protected]

【文/观察者网 吕栋】

在跟美国政府达成协议1个多月后，当地时间3月8日，荷兰政府以“国家安全”为由，宣布将对包括“最先进的”深紫外光刻机（DUV）在内的特定半导体制造设备实施新的出口管制。

这意味着，荷兰方面已将光刻机出口管制的范围，由极紫外光刻机（EUV）扩大到了DUV。

由于DUV仍占很大出货比重，荷兰光刻机巨头ASML很快发布声明，称该公司需要申请许可证，才能出口最先进的浸没式DUV光刻机，但新的出口管制，并不适用于所有的浸没式DUV，而只是针对“最先进的”。

ASML官网截图

根据路透社等外媒的报道，当地时间3月8日晚间，荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔（Liesje Schreinemacher）在致荷兰议员的一封信中称，“鉴于技术发展和地缘政治背景，政府得出结论，为了（国际）国家安全，有必要扩大对特定半导体制造设备的现有出口管制。”

施赖纳马赫尔宣称，荷兰政府希望阻止荷兰技术被用于军事系统或大规模杀伤性武器（这与美国去年10月实施出口管制的理由类似），同时希望保持“荷兰的技术领先地位”，为此将建立国家出口管制清单。

这封信并未提及任何国家和公司，但美国政治新闻网站《政客》（Politico）认为，荷兰此举是迫于美国的压力。就在本月初中荷外长会面时，荷兰外交大臣胡克斯特拉还表示，荷兰将继续根据本国利益在具体项目上独立作出判断。

实施新出口管制，显然会对荷兰半导体设备企业造成影响，尤其是光刻机巨头ASML。施赖纳马赫尔在前述信中透露，新的出口管制措施包括最先进的DUV，这些措施将在今年夏天之前实施。

观察者网查询ASML财报发现，2022年，EUV光刻机仅占该公司出货量的10%，DUV仍是出货主力。

ASML财报截图

考虑到DUV仍然有庞大的出货量，ASML也迅速对新的出口管制做出回应。该公司在一份声明中称，这些新出口管制主要针对先进的芯片制造技术，包括最先进的沉积和浸没式光刻工具。

由于这些即将出台的法规，ASML将需要申请出口许可证才能装运最先进的浸没式DUV系统。

ASML在声明中强调，新出口管制并不适用于所有的浸入式光刻工具，而只适用于所谓“最先进的”，并且这些管控措施转化为立法并生效还需要时间。

虽然ASML尚未收到任何关于“最先进”确切定义的更多细节，但该公司将其解释为“关键的浸没式系统”（critical immersion），即“资本市场日”中定义的TWINSCAN NXT:2000i和后续推出的浸没式系统。

这或许意味着，TWINSCAN NXT:1980Di等更成熟的浸没式DUV机型不在受限范围。

ASML主流浸没式DUV设备 官网截图

观察者网查询方正证券2020年6月发布的研报发现，TWINSCAN NXT:2000i DUV（双工作台深紫外光刻机）曾是ASML最先进的浸没式光刻系统，也是EUV光刻机之前的重要过渡产品，同时是后期7nm/5nm产能的重要补充。这种机型在2018年就已开始出货，被视为可用于生产7nm等制程。

在复旦大学微电子学院2022年5月发表的一篇论文中，作者提到，在没有获得极紫外光刻机（EUV）的情况下，芯片代工厂都是利用浸没式DUV光刻机，多次曝光实现7nm逻辑芯片的光刻工艺流程。

ASML光刻机型号（资料图）

ASML官网显示，TWINSCAN NXT:2000i专为与EUV混合使用而设计，可为高级逻辑和DRAM节点的大批量制造提供出色的覆盖、聚焦控制和交叉匹配。比这款光刻机更先进的型号是TWINSCAN NXT:2050i，该系统满足多种图案化要求，为在高级逻辑和DRAM节点制造300毫米晶圆提供经济高效的解决方案。

在前述声明中，这家荷兰光刻机巨头提到，主要关注成熟制程的客户，可以使用不太先进的浸没式光刻工具，因此最新的出口管制并未影响该公司2023年的财务前景。

但不能自由出货，ASML在华收入不可避免受干扰。该公司预计2023年中国大陆销售额将保持在22亿欧元左右（约合人民币162亿元），而全球总销售额将增长25%，因为主要客户台积电和英特尔都在扩产。

根据ASML财报，2022年该公司共出货345台光刻系统，其中有81台浸没式DUV光刻机（ArFi），占比为23%。所有产品中，42%销往中国台湾，29%销往韩国，14%销往中国大陆，销往美国的只有7%。

今年2月，在接受欧洲媒体采访时，ASML首席执行官温彼得直言，如果美国及其盟友切断中国（大陆）获得某些半导体和半导体制造技术的渠道，中国将被迫加倍努力开发自主技术。他坦言，虽然出口管制是合法工具，但不应该被滥用，决策者在“摆弄”半导体供应链之前应充分了解它的复杂性。

“重要的公司应该知道自己面临着什么，并有时间适应新规则。”荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔在前述致议员的信中称，荷兰政府已经决定采取“尽可能谨慎和精确的措施……避免不必要的价值链中断。”

路透社援引所谓国外消息人士称，日本最快也将于本周发布最新芯片设备出口政策。

针对今年1月美日荷三国达成对华出口限制的协议，中国半导行业协会曾发布声明称，此举如果成为现实，在对中国半导体产业造成巨大伤害的同时，也将对全球产业及经济造成难以估量的伤害，对全球最终消费者的利益造成长期伤害。中国半导体行业协会反对这一破坏现有全球半导体产业生态的行为。

中国外交部发言人毛宁也曾回应指出，美国为了维护自己霸权和私利，滥用出口管制，胁迫、诱拉一些国家组建遏制中国的小圈子，将经贸科技问题政治化、武器化，严重破坏市场规则和国际经贸秩序。中方对此坚决反对，也希望有关方面从自身的长远利益和国际社会的共同利益出发，审慎行事。

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