光刻机工厂？No！这是北京高能同步辐射光源！_风闻

来源：中国电子院

近期，各大视频平台疯传一条消息

称清华大学EUV项目

把ASML的光刻机巨大化

实现了光刻机国产化

并表示这个项目已经在雄安新区落地

还在视频中配了这样一张图

表示图片中的项目就是光刻厂

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该项目是国产光刻机工厂？

NO！

这是北京高能同步辐射光源项目（HEPS）！

关于

北京高能同步辐射光源

HEPS坐落于北京怀柔雁栖湖畔

是国家“十三五”重大科技基础设施

它是我国第一台高能量同步辐射光源

也是世界上亮度最高的

第四代同步辐射光源之一

早在2019年就开始建设

将于2025年底投入使用

△北京高能同步辐射光源项目实拍图

HEPS是干嘛用的呢？

它的作用是通过加速器

将电子束加速到6GeV

然后注入周长1360米的储存环

用接近光速的速度保持运转

电子束在储存环的不同位置

通过弯转磁铁或者各种插入件时

就会沿着偏转轨道切线的方向

释放出稳定、高能量、高亮度的光

也就是同步辐射光

简单的说

HEPS可以看成是一个

超精密、超高速、具有强大穿透力的

巨型X光机

它产生的小光束

可以穿透物质、深入内部进行立体扫描

从分子、原子的尺度

多维度地观察微观世界

HEPS是进行科学实验的大科学装置

并不是网传的光刻机工厂

该项目由

全国勘察设计大师、

国投集团首席科学家娄宇带队

中国电子院多个技术科研

和设计团队协同合作

从项目可研立项到项目落地

中国电子院攻克了多项技术和工艺难关

解决了项目不均匀沉降、微振动控制、

超长结构设计、光伏板设计、

精密温度控制、工艺循环冷却水系统、

超复杂工艺系统等七大技术难题

实现了重大技术突破

指标控制达到了国际先进水平

目前高能同步辐射光源配套工程已全面完工

向产生世界最“亮”的光又更近了一步

△点击图片，深入了解北京高能同步辐射光源

中国电子院

持续助力“中国芯”

虽然HEPS不是光刻厂

但关于光刻厂的信息

之所以能在自媒体平台迅速刷屏

归根到底

还是源于大众对解决“卡脖子”难题的期待

而中国电子院也在

助力“中国芯”之路上持续发力

从建院之初

中国电子院便开启了中国“芯”的起步

近年来，中国电子院深耕细做半导体行业

承担了国内超过50%的存储芯片项目

为国家在电子信息领域

实现科技自立自强做出了重要贡献

国家存储器基地

国内唯一本土企业主导的12英寸3D闪存生产线项目

中芯京城

国内规模最大的12英寸集成电路先进工艺生产线项目

广州粤芯

广东省第一座成功量产的12英寸集成电路芯片制造厂

福建晋华

第一条由本土企业建设并运营的12英寸DRAM芯片生产线

合肥晶合

国内第一座EPC模式新建的12英寸厂

英诺赛科

国际领先8英寸硅基氮化镓芯片生产线

厦门士兰微

国内第一条12英寸特色工艺IDM芯片制造

西安奕斯伟

国内规模最大12英寸硅片生产线

厦门通富微电

世界级绿色标杆集成电路封装测试基地

德州仪器（成都）

全球模拟芯片龙头企业先进封装项目

当前，面对复杂、严峻的国际形势

行业企业自立自强迫在眉睫

为打造更具竞争力的先进电子制造工厂

中国电子院秉持着

在电子信息产业70年的经验和传承

以建设虚拟工厂为目标

进行全要素的数字化攻关

自主开发了核心算法和数字化技术

目前已推出

“先进电子制造数字孪生工厂解决方案1.0版”

致力于实现生产制造

“绿色、低碳、精益、高效”建设目标

为行业赋能

△中国电子院首席技术官、党委委员杨光明介绍“先进电子制造数字孪生工厂解决方案1.0版”科技成果

今年，中国电子院还成立

松山湖先进半导体工程技术联合创新中心

借助该平台引才、引智

开展联合技术攻关

助力我国半导体行业解决“卡脖子”难题

△电子院·松山湖先进半导体工程技术联合创新中心揭牌

使命在肩，初心如磐

未来，中国电子院

将持续瞄准国家重大战略需求

开展关键核心技术攻关

加快突破“卡脖子”难题

全力推动半导体国产化进程

为实现高水平科技自立自强

和高质量发展践行央企担当！

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