大型光源装置早就有，最有名的就是上海同步辐射光源_风闻

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大型光源装置其实早就有， 最有名的就是上海同步辐射光源，不过那是大科研装置，用来配套各个研究领域的实验站。

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上海光源（Shanghai Synchrotron Radiation

Facility，简称SSRF）是中国大陆第一台中能第三代同步辐射光源，坐落在浦东张江高科技园区，由国家、中国科学院和上海市人民政府共同投资建设，于2004年12月25日开工建设，2009年4月29日竣工，5月6日正式对用户开放，总体性能位居国际先进水平。上海光源首批建成7条光束线站，2015年～2018年期间，“梦之线”、蛋白质设施5线6站、SiP·ME2研究平台等陆续建成，截止到2022年6月，目前共有27条光束线39个实验站开放运行。

上海光源具有波长范围宽、高强度、高亮度、高准直性、高偏振与准相干性、可准确计算、高稳定性等一系列比其他人工光源更优异的特性，可用以从事生命科学、材料科学、环境科学、信息科学、凝聚态物理、原子分子物理、团簇物理、化学、医学、药学、地质学等多学科的前沿基础研究，以及微电子、医药、石油、化工、生物工程、医疗诊断和微加工等高技术的开发应用的实验研究。

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此外中国散裂中子源项目也是这一类，是材料学研究的平台基础。

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大光源的好处就是光源的品质更好，性能参数更强，升级潜力大，可以输出更短波长的光，甚至x射线都可以，只不过传统的光刻工艺遭遇量子隧穿效应，漏电流无法避免，绝缘性失灵，工艺尺度到了纳米级别就不能再走下去了，并不是波长短就可以，而是要开发新的光刻方案，而且光源只是光刻机的难题之一，还有其它核心关卡。