大型光源装置早就有,最有名的就是上海同步辐射光源_风闻
夜缕_-09-14 15:41
【本文来自《谁说“光刻机”非得长那样?》评论区,标题为小编添加】
大型光源装置其实早就有, 最有名的就是上海同步辐射光源,不过那是大科研装置,用来配套各个研究领域的实验站。
·
上海光源(Shanghai Synchrotron Radiation
Facility,简称SSRF)是中国大陆第一台中能第三代同步辐射光源,坐落在浦东张江高科技园区,由国家、中国科学院和上海市人民政府共同投资建设,于2004年12月25日开工建设,2009年4月29日竣工,5月6日正式对用户开放,总体性能位居国际先进水平。上海光源首批建成7条光束线站,2015年~2018年期间,“梦之线”、蛋白质设施5线6站、SiP·ME2研究平台等陆续建成,截止到2022年6月,目前共有27条光束线39个实验站开放运行。
上海光源具有波长范围宽、高强度、高亮度、高准直性、高偏振与准相干性、可准确计算、高稳定性等一系列比其他人工光源更优异的特性,可用以从事生命科学、材料科学、环境科学、信息科学、凝聚态物理、原子分子物理、团簇物理、化学、医学、药学、地质学等多学科的前沿基础研究,以及微电子、医药、石油、化工、生物工程、医疗诊断和微加工等高技术的开发应用的实验研究。
-
此外中国散裂中子源项目也是这一类,是材料学研究的平台基础。
-
大光源的好处就是光源的品质更好,性能参数更强,升级潜力大,可以输出更短波长的光,甚至x射线都可以,只不过传统的光刻工艺遭遇量子隧穿效应,漏电流无法避免,绝缘性失灵,工艺尺度到了纳米级别就不能再走下去了,并不是波长短就可以,而是要开发新的光刻方案,而且光源只是光刻机的难题之一,还有其它核心关卡。