一个大笑话：100个光刻机造100条芯片产线_风闻

有个叫“淡然小司”的人谈芯片自给率，提到了我。他的说法里有很多问题，缺少产业常识。一个大笑话：100个光刻机造100条芯片产线

1. 聊芯片业，大多数人都缺乏产业常识，典型就是这个“淡然小司”。没有专业知识，无法用正确的名词来聊问题，就会用一些语文式的模糊理解来想当然。我有些朋友是在芯片制造业的，业内人士也会出来写科普文章，有专门聊芯片知识的公众号等平台。但是说实在的学习门槛比较高，如果没有下功夫去把芯片产业名词概念、芯片制造FAB流程搞清楚，真的很不好懂，容易犯理解错误，因为实在是坑太多了。

2. 例如这个文章，里面谈到了“芯片产线”，说进口光刻机ASML的85台，日本尼康的20台，上电微还自产20台。然后就说，一年能建100条芯片产线。这个只能说对芯片产线很缺乏常识，业界人士一看就知道是大笑话。

3.

FAB里一条芯片产线，会有几十个到上百个“机台”，每个机台上面是一些机器，晶圆批量装在foup（晶圆传送盒）里，在天车上运到各个机台流水线处理，全部机台走完可能要1个月甚至更长时间。机器有很多种，主要用于光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂四大工艺。刻蚀机就有很多种，因为要在晶圆上反复沉积上各种材料，蚀刻掉指定的部分，晶圆也要精细蚀刻掉一些部分。蚀刻几十次都有可能，可以理解成在晶圆上刺绣雕花，芯片其实是沉积+刻蚀出来的。而光刻机是配合刻蚀机的，并没有直接去刻晶圆，是刷了光刻胶成像，来指定引导蚀刻的区域。所以一条产线上光刻机都是要不少的，绝对要多台。

4.

并不是一些人以为的，买一台光刻机，咣咣咣就把晶体管象激光刻字一样“光刻”好了；然后再一个中微的刻蚀机，再来几下就好了。这光刻和蚀刻都要几十道，多个光刻机和刻蚀机，一个芯片用于光刻的掩膜板mask就会有40多张甚至超过100张。有的可以用一个光刻机干，但是精度要求不同会用几台光刻机，也要并行加快速度，就用多个光刻机。有的产线规划产能大，甚至需要几十台光刻机。

5. 另外一个问题，上电微以前出的光刻机基本是后道光刻机，是用于芯片封装的，在晶圆加工的环节基本没有出货。最近也只是传闻说90nm光刻机用于65nm芯片产线，一年有4台出货。

6. 因此，买到100个光刻机，是不可能建起100条芯片产线的，十来条还差不多。总之，这个“淡然小司”缺少芯片产线常识。我介绍的这些芯片产线常识还很粗浅，但如果没有去理解学习，都不太容易明白。