光刻机巨头阿斯麦CEO：中国不太可能独立造出顶尖光刻机，但也别那么绝对

【文/观察者网 吕栋】“中国不太可能独立复制（replicate）出顶尖的光刻技术，因为阿斯麦依赖于不懈的创新，以及整合只有从非中国供应商处才能获得的零部件。但我的意思并不是绝对不可能，因为中国的物理定律和我们这里是一样的。永远别那么绝对（Never say never），他们肯定会尝试的。”当地时间1月19日，荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）CEO温彼得（Peter Wennink）表示。

光刻机是芯片制造核心设备，也是研发难度最大的半导体设备。目前，阿斯麦垄断着全球顶尖光刻机市场，该公司也因此被美国视为围堵中国大陆芯片产业发展的“政治棋子”。而温彼得在做出上述表述的同时还透露，阿斯麦尚未获得向中国大陆出口最先进光刻机的许可，但一些生产成熟制程的光刻机出口并不受限制。

CINNO Research半导体事业部总经理Elvis Hsu在接受观察者网采访时表示，光刻机是半导体制造设备价格占比最高的部分，约25-30%。其研发难点在于曝光光源、对准系统和透光镜头等技术的整合，以及庞大资金投入。目前国内技术领先的光刻机研制厂家是上海微电子，可以稳定生产90/65nm制造工艺的光刻机。

路透社报道截图

刚过去的2021年是全球芯片短缺最严重的一年，作为半导体制造关键设备提供商，阿斯麦1月19日也拿出一份亮眼业绩。财报显示，阿斯麦2021年总营收为186亿欧元（约合人民币1339亿元），同比增长33%；净利润为59亿欧元（约合人民币425亿元），同比增长66%；毛利率为53%，比上年同期提高4个百分点。

阿斯麦CEO温彼得表示，2021年营收中有63亿欧元来自42个EUV系统（极紫外光刻机）订单，比上年多11个。该公司在过去一年经历许多挑战，市场需求比最大产能高出40%至50%。为提高对客户的支持，该公司选择缩短周期以运送更多设备，主要通过快速发货流程跳过工厂的一些测试，并在客户现场进行最终测试和正式验收。虽然这会使收入确认推迟到客户正式验收前，但能帮助客户提早进行晶圆生产。

增加员工数量，也成为阿斯麦应对需求增长的方法。温彼得表示，该公司计划在今年年底前将员工人数从目前的3.15万人增加到3.5万人。他透露，该公司在2021年净增加4000多名新员工，到2022年底，员工人数将比2020年底增加近30%。不过，温彼得表示，该公司可能需要两到三年才能实现供需平衡。随着新工厂的建设，到2025年或2026年，全球半导体行业甚至可能出现“某种程度的供过于求”。

单从四季度来看，阿斯麦实现营收50亿欧元，净利润18亿欧元，毛利率达到54.2%；新增订单金额71亿欧元。期内，该公司共出货82台光刻系统，环比上季度增加3台；其中EUV光刻系统11台，比上个季度减少4台；在所有出货中，73%光刻机被用于逻辑工艺制造，27%的光刻机用于存储芯片生产。

阿斯麦2021年四季度财报截图

从出货地来看，中国台湾依然是阿斯麦的最大市场，四季度有51%的光刻系统发往当地，占比环比提升5个百分点；韩国是该公司第二大市场，同期有27%的光刻系统发往当地，占比环比下降6个百分点；中国大陆是阿斯麦第三大市场，四季度有22%的光刻系统向当地出货，占比提升12个百分点。2021年三季度，美国和日本分别在阿斯麦出货中占比10%和1%，但四季度占比均意外降为0，具体原因尚不清楚。

阿斯麦光刻机出货信息

过去几年，阿斯麦一直在研发高数值孔径（0.55 NA）EUV光刻机。这种EUV光刻机采用最新的光学设计，具有更高的分辨率（由13nm升级到8nm），可以使芯片面积缩小1.7倍，晶体管密度增加2.9倍。与目前的0.33 NA EUV光刻机相比，0.55 NA光刻机可以显著提高良率、降低成本和缩短生产周期。当然，0.55 NA光刻机的价格也相当昂贵，每台售价约为3亿美元（约合人民币19亿元），比0.33 NA光刻机售价高出一倍。

目前，台积电等生产7nm-5nm制程的芯片采用的都是0.33 NA EUV光刻机，而第一代0.55 NA光刻机TWINSCAN EXE：5000还在研发过程中，预计2023年上市。早在2018年，英特尔就率先向阿斯麦下单第一代0.55 NA EUV光刻机，该公司也有望成为首个0.55 NA EUV光刻机的使用者，并将其用于3nm及以下制程。

阿斯麦NXE3400型EUV光刻机（0.33 NA） 图源：阿斯麦官网

在本次披露财报时，阿斯麦透露，该公司在2021年四季度收到一份TWINSCAN EXE：5000光刻机订单，累计订单达到5份。与此同时，该公司还在2022年初收到下一代高数值孔径EUV光刻机TWINSCAN EXE:5200的首份订单，下单的还是英特尔。从路线图来看，TWINSCAN EXE：5200预计最快2024年底投入使用，2025年开始大规模应用于2nm甚至以下先进制程的生产。国外曾有分析师直言，“我敢打赌，英特尔为这一权利花了很多钱，因为他肯定不是唯一想先得到这种机器的公司”。

图源：阿斯麦

展望新一年的业绩，阿斯麦预计其2022年一季度销售收入约为33亿-35亿欧元，环比下滑30%-34%。温彼得对此解释称，由于大量的快速出货，约有20亿欧元的预期收入将从第一季度转移到后续季度，这也是该公司一季度预期销售额较低的原因。纵观全年，即使考虑到目前6个EUV系统的快速出货相关收入将转移至2023年，该公司2022年的营收增长仍将达20%左右。

但这个说法遭到中国台湾半导体分析师陆行之的质疑。他提到，2021年四季度，阿斯麦存储器芯片用光刻机营收占比环比下滑12个百分点，同期确认收入的EUV也低于原预期，或许是韩国三星、海力士因为DRAM（动态随机存储器）合约价格下滑，要求延迟付EUV的款项给阿斯麦。因为既然是快速出货，理论上应该也是快速或准时付款，但现在阿斯麦快速出货却被延迟付款，怎么解释都显得很奇怪。

台媒报道截图

在发布本次财报前，阿斯麦柏林工厂曾发生火灾。TrendForce集邦咨询向观察者网提供的一份报告显示，阿斯麦德国柏林工厂火灾对晶圆代工及存储器而言，将可能对EUV光刻机设备制造产生较大影响。而根据该机构掌握的信息，阿斯麦所需的零部件亦不排除通过其他厂区取得，加上目前EUV设备交期相当长，因此实际对EUV供应的影响仍有待观察。而阿斯麦方面预计柏林火灾不会对其2022年的系统出货产生重大影响。

从2018年开始，阿斯麦就试图向中国大陆销售EUV光刻机，希望进一步进入中国大陆市场，但荷兰政府一直未批准其出口许可申请。在美国的持续施压之下，这一请求已被荷兰官员搁置。温宁克在财报发布当天表示，他担心进一步的出口限制，“我对任何政府采取的出口管制措施都感到担忧。我们严重缺乏成熟的半导体技术，我们需要成熟的制造能力”。

“出口管制将加快中国自主研发，15年时间里他们将做出所有的东西”、“中国完全自主掌控供应链之后，欧洲供应商将彻底失去市场”，其实温彼得去年4月就已经公开表达焦虑，但美国一直选择视而不见。

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