60岁回国创业，78岁撑起中国刻蚀机一片天！尹志尧的传奇仍在上演_风闻

任正非曾一针见血指出华为之所以被卡脖子，是因为设计出的高端芯片，国内基础工业还无法生产制造出来，“屋漏偏逢连夜雨”，10月7日，美国将31家中国公司和相关研究机构等悉数列入实体名单，严格限制向其出售尖端生产设备以生产先进制程芯片。

美国用实际行动让“科技无国界”成了笑话，我们也该摈弃与某国合作共赢的幻想了，唯有自力更生，实现半导体产业链的自主，才能彻底摆脱美国的技术封锁，尽管要实现这一步，难度不亚于登天，但好在，集成电路这么复杂的产业链，也并不是美国一人说得算，任总的话其实只说对了一半……

“1粒米上刻1亿个字”？这位传奇大佬做到了！

“我们现在可以在一个米粒上刻1亿个字”说出这句“狂言妄语”的不是别人，而是传奇海归大佬、中国“刻蚀机之父”尹志尧，他60岁从美国空手归来，一手创办的中微公司，如今已成为世界级刻蚀巨头，并且因为技术专利完全自主研发，连美国都无可奈何，只能白名单放行。

不过长久以来，大多数网友都没听过尹志尧的鼎鼎大名，这与媒体选择性渲染光刻机的卡脖子问题不无关系，直接导致了大众忽视了刻蚀机的重要性，实际上，在芯片制造流程中，有三大最主要生产技术，分别为光刻技术、刻蚀技术与薄膜沉积技术，对应得设备为光刻机、等离子体刻蚀机与薄膜机，这些主要生产设备缺一不可，而薄膜机目前不存在卡脖子问题，刻蚀机已经实现自主，早就具备了5nm高端芯片的刻蚀条件，台积电、中芯国际等都是中微的客户，所以任总说国内无法生产制造出海思设计的高端麒麟芯片，其实只说对了一半——我们已经搞定尖端SoC的自主刻蚀了，而完成这历史性一步，最大的功臣，便是尹志尧。

为了让读者对大佬的有一个更丰满立体的认知，照例，我们先来一段尹志尧的高光履历表：

1944年出生的尹志尧，可以说是名门之后，其父是在日本留学归来报效社国的著名电力化学专家，也许是耳濡目染，尹志尧自幼就对化学科学产生浓厚的兴趣，并因为成绩优异，屡获奖学金；

1962年，尹志尧顺利考入了（后来）被誉为化学专业天花板的中国科学技术大学，毕业后，尹志尧先后被分配到兰州炼油厂和中科院兰州物理化学所工作，这一干就是10年，不过，尹志尧还想在专业上进一步夯实自己，他并不满足于衣食无忧的铁饭碗，内心总有一个干大事的声音在呼唤；

1978年，尹志尧利用业余时间学习，顺利考入北大化学系，当参观到当时国内最先进的计算机之时，尹志尧大受触动，内心埋下了对半导体一腔挚爱的火种，取得北大化学硕士学位后，又前往美国加州大学读博深造，仅3年时间并拿下物理系博士学位；

1983~1985年，尹志尧以工程师身份供职于硅谷英特尔公司，英特尔中心研究开发部，是他在硅谷职业镀金生涯的起点，这一阶段眼界和能力的开拓，为尹志尧后续的事业腾飞埋下了伏笔；

1986年，尹志尧被LAMReasearch相中，加入LAM，仅仅花了5年时间，就带领LAM走上世界之巅，成为全球最大的刻蚀机公司，彼时LAM的市场份额，一度高达40%，LAM一将功成，尹志尧也名气大振，多家顶级公司均向他伸出橄榄枝，其中就包括著名的应用材料公司、如今的半导体设备头号大厂AMAT。

彼时的AMAT趁LAM管理动荡之际，一举将尹志尧吸入麾下，此后的十几年，有了尹志尧的加盟，AMAT如虎添翼，很快就跻身全球第一大刻蚀机公司之位，并且营收规模遥遥领先头号光刻机大厂ASML。

可以说在上世纪80年代到2004年，是尹志尧职业生涯大放异彩的黄金二十年，他从一个小小的工程师起步，愣是干到了全球刻蚀机霸主的副总裁，不夸张地讲，全世界有一半的人都在用由他（参与）主导开发的设备。

2004年，已身居全AMAT副总裁高位的尹志尧毅然决然地辞职，带领15名心腹大将，回到中国，并于同年创办中微半导体设备公司，然后便有了开头的故事。

十年磨剑，科技报国

60岁归国创业，尹志尧的决心日月可鉴，不过，在上海创办中微的头几年，他惹上的麻烦就没断过，LAM和AMAT等前东家们多次以莫须有的“携带技术机密”回国为由，起诉中微，妄图将尹志尧科技报国的理想扼杀在摇篮里，但最终，他们都失算了……

打铁还需自身硬，尹志尧从美国走得干干净净，几乎是空手回国，没有携带任何纸质或电子档的相关技术资料，因为尹志尧和团队们笃信，我在美国能创造发明出一系列技术专利，我同样回国后，也能通过原创自主技术大施拳脚，果然泛林和应用材料两大巨头对中微发起的连番诉讼，最终都无一例外败北了，老美经过反复审查，发现确实找不到中微的一丁点把柄后，遂对其开放了白名单（中微可以供货美国公司和世界各地），尹志尧不仅未被卡脖子，还意外获得了世界通信证，创造了中国半导体历史。

扫除障碍后，尹志尧率领团队日夜兼程，苦拼十几载，终于将中微公司推到了全球刻蚀设备五大供应商之列，彻底填补了国产高端蚀刻设备的空白，中微的技术实力有多强悍呢？

截至2021年底，中微累计申请专利2012项，其中发明专利高达1741项，实用新型专利251项，其余专利20项，发明专利占比近90%，值得一提的是，仅尹志尧个人，就斩获了400多项国内外专利，一流的研发实力与智慧成果产出能力，成了中微最大的底气。

所谓艺高人胆大、能者亦多劳，尹志尧的中微团队，还曾于2017年参与到华为海思麒麟970芯片的研发，对华为AI芯片的迭代进化，起到了至关重要的作用，当然，这是后话了。

2018年4月，中微率先突破5nm刻蚀技术，在业界引发轰动，不过彼时不少媒体和自媒体却以博眼球为目的，毫不负责地称“我们已突破5nm芯片制造工艺”，这一度让尹志尧很苦恼，因为他明白，科研人最该有一说一，脚踏实地，中微可以刻蚀5nm高端芯片了，但是并不表示，我们可以无惧美国制裁了，因为，把IC设计图案“印制”到化学薄膜上还需要依赖ASML 的EUV光刻。

2021年4月，尹志尧在杨澜访谈录节目《逐风者》中透露，中微3nm刻蚀机Alpha原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估等系列工作已完成，在尹志尧看来，摩尔定律就是要被不断打破的，他表示他和半导体行业的从业者们，还在全力冲击2nm、1nm的物理极限，“我们的刻蚀机其实已经刻到一两个原子这样的准确度”，这大抵就是无双的技术自信吧！

当然，中微为我国半导体设备的自主做出了重要的贡献，国家更是没亏待过它，甚至可以说自尹志尧归国创业时，就高度重视，并且持续大力扶持，仅有据可查的真金白银就有国家大基金一期投资（具体数额不详，保守估计10亿以上）和高达25亿的大基金二期投资。

不过，这也是尹志尧和中微该得到的优待，投资这样一个自主刻蚀龙头，总比把海量资金砸给那些个骗补贴的芯片项目要靠谱一万倍吧？

截至2022年6月末，尹志尧持股620万股，占公司已发行股本的1%，中微给尹志尧开出的薪酬也很有诚意，高达669.68万元，当然，哪怕是千万年薪，都不为过，因为像尹志尧、梁孟松这些技术大佬，创造出的直接经济价值，都是亿计的，对中国半导体产业链的贡献和深远影响，更绝非金钱可衡量的。

中微和尹志尧的传奇故事还在继续，接下来，我们就该展望上微在自研光刻机领域上带给我们的惊喜了，相信有这样一群立志报国的顶级科学家和企业家们，我们彻底摆脱美国的技术封锁，只是时间早晚！

未来的第一科技强国，必将属于中国！

参考资料：

经济观察报、中微公司公开报道、杨澜访谈录等，图源网