打造属于自己的光刻产品

江苏邳州经济开发区泰山路西侧坐落着一家并不起眼的企业——徐州博康信息化学品有限公司，近段时间以来，这个占地近200亩的小工厂却成为资本市场追逐的目标之一。

从8月11日到9月11日，短短一个月时间内，华为旗下深圳哈勃科技投资合伙企业向徐州博康新增投资3亿元，成为华为哈勃最大单笔半导体产业链投资；上市公司华懋科技发布公告，通过参与设立的产业基金东阳凯阳科技创新发展合伙企业（有限合伙）对徐州博康进行投资。

科技巨头和上市公司为何把目光投向江苏邳州这家企业？

“我们自成立至今，一直专注于光刻胶原材料到成品的自主研发及生产。先后攻克了有效去除光刻胶单体金属离子和产品纯化工艺等多项难题，填补了国内在该项技术上的空白。”徐州博康董事长傅志伟说，资本市场看好徐州博康，既是上市公司对发展光刻胶产业的一种战略布局，更是对徐州博康光刻胶领域自主研发成果的认可。

找准技术突破口

走进徐州博康产品展厅，一排排装满液体的褐色玻璃瓶罐摆放在展台上，标注着光刻胶单体、树脂、光引发剂等光刻胶组成材料名称，引人注目。

“过去这些光刻胶材料我们高价买不来。现在我们在光刻胶材料研发领域取得突破，很多国外厂商反过来向我们订购产品。”傅志伟端起一瓶单体试剂告诉记者，如果把芯片比作电子信息产业的皇冠，那光刻技术就是皇冠上的明珠，而作为芯片研发的重要材料——光刻胶，一直被发达国家攥在手里，成为制约我国芯片产业发展的“卡脖子”环节之一。

“我们把光刻胶单体作为突破口，心无旁骛专注研发，脚踏实地做产品产业化，成功实现了光刻胶单体的自主研发及生产。”傅志伟说，企业当时在没有经验、缺少专业技术人才、缺失关键上游原材料的条件下启动研发及生产，虽然经历曲折坎坷，但横下一条心就一定能做成。

“光刻胶的研发，关键在于其成分复杂、工艺技术难以掌握。”徐州博康信息化学品有限公司生产总监刘司飞参与了公司光刻胶单体量产、树脂研发以及配胶的全链条工作，他感慨地说，能够参与其中感觉很骄傲、很自豪，累并快乐着。

为了让光刻胶单体材料实现从实验室小批量到生产线吨位级生产并品质稳定，刘司飞曾和研发团队一起立下技术攻关军令状，半年时间吃住在公司，没日没夜地试验，最终实现了193纳米单体产品金属离子含量由100ppb降到了10ppb，纯化提高了10倍，满足智能手机芯片等集成电路对于光刻胶的需求。

目前，徐州博康自主研发了光刻胶重要材料——光刻胶单体，同时还将国内光刻胶单体由248纳米的研发生产提升到193纳米研发、产业化阶段；成功研发G线/I线光刻胶、电子束光刻胶等产品并形成量产，为国内主流厂商批量供货。

走自主研发之路

“光刻胶在玻璃釜里制造和在流水线上生产有很大区别，试生产阶段要时刻关注数据变化，确保产品稳定性。”在徐州博康新厂大数据控制中心，公司产品总监邵严亮正带领团队针对一款即将量产的光刻胶进行稳定性评估。

工欲善其事，必先利其器。今年6月份，徐州博康建成并投产国内最完备的高水平光刻胶研制基地，每年可生产1100吨光刻材料、10000吨电子级溶剂，产值达20亿元。“徐州博康不仅在光刻胶单体生产上实现了突围，也在光刻胶产业链研发制造及光刻机的研发上全面发力。”邵严亮介绍说，目前徐州博康光刻胶单体占全球市场份额5%，储备了全球80%的技术，开发出10多个高端光刻胶系列产品。

打破国外垄断、实现自主研发离不开科技创新的支撑，而提高科技创新支撑能力，人才是关键。

“为了给企业自主研发提供源源不断的技术力量，我们在国内光刻胶领域广发英雄帖，组建了120余人的研发团队，占公司员工超40%，同时搭建了3000平方米国际标准研发中心作为技术创新平台。”傅志伟说，通过不计其数的试验，忍耐了无数次的失败、重来，再失败、再重来，公司自主研发收获颇丰，已获批27项发明专利，正在申请的专利达41项，并具有完全的自主知识产权。

布局中高端市场

傅志伟说，早在2013年，中科院微电子所就与徐州博康展开了密切合作，在光刻研发方面突飞猛进，并不断挑战一个又一个技术封锁，最终使得光刻技术的研发达到国际先进技术水平。

在光刻材料取得重大进展的同时，徐州博康还与中科院微电子所联合组建了一支新团队——江苏影速，开始进军先进光刻设备领域。

短短3年时间，江苏影速就完成了半导体纳米级制板光刻设备研发及PCB激光直接成像设备研发两个国家科技重大专项，成为我国唯一能够制造“半导体纳米级制板光刻设备”的企业，产品交付国内研究所、军工企业及一线厂商，逐步挤压进口设备的市场空间，并结束了我国半导体装备领域“零出口”的历史。

与此同时，徐州博康收购了英国的光刻机制造企业NBL电子束光刻机公司并落户徐州经济技术开发区，未来将在园区内主要生产电子束光刻机、扫描电镜、高压电源以及电子束枪、无磁电机等高科技产品。

目前，徐州博康已经发展为全国为数不多的中高端光刻胶材料研发和规模化生产企业，成为全球最快激光直写光刻机的发明者和制造商。谈到企业未来的发展，傅志伟说：“我们要努力掌握和创造属于我们自己的光刻技术及产品，改变全球光刻产业格局。”