央视探访国产芯片光刻区：国产芯片给雷达装上最强大脑

中央电视台国防军事频道近日探访国产芯片光刻区，带来现场报道。

视频内容：

光刻工艺使用的光刻胶，它是一种光敏材料，不能轻易地暴露在有紫外线的环境里，而这种黄光就是不含紫外线的。

我身边这台机器是匀胶机，可以看到滴管正在把光刻胶滴在基片的中心，然后基片飞速旋转，利用离心力把多余的光刻胶甩出，再把边上较厚的胶洗除，使胶体均匀的附着在表面，这个过程有点像是摊煎饼一样。在此之后紫外线就有了用武之地，刚才旋涂完光刻材料，并且软烘之后的基片就会被送到箱体里面来进行光刻。

光刻工艺是利用类似照相制版的原理，在基片表面上刻蚀精细图形的表面加工技术，也就是说它使用紫外线把电路图投影“印刷”到覆盖有感光材料的基片表面，基片经过光刻之后还要放到显影液里面，就像是我们洗照片一样，溶解发生光化学反应的光刻胶。

电路就是这样被一层一层的印刷上去，随着集成电路所包含的器件越来越多，要求单个器件尺寸及其间隔越来越小，所以光刻所能分辨的最小线条宽度也标志着集成电路的工艺水平。

我们大胆创新，探索出一条独具特色的高集成、射频微组装工艺技术路线，使T/R组件产品体积大幅缩减至传统产品的十分之一到二十分之一，实现了轻小型化量产，有力地支撑了装备小型化的发展趋势。