“光刻机第一股”华卓精科冲刺科创板

（文/观察者网 吕栋）在新三板摘牌1年半后，华卓精科开始冲刺科创板。

日前，这家被市场称作“光刻机第一股”的厂商，正式向上交所提交招股书并获受理。虽然不生产光刻机整机，但其实控人、清华大学教授朱煜透露，该公司生产的光刻机核心子系统——双工件台打破了ASML技术垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。

不过，目前华卓精科的光刻机双工件台仅有上海微电子一家客户，并且该产品仍处于小批量定制生产阶段，尚未实现规模化量产。同时，其晶圆级键合设备、激光退火设备等产品还与上海微电子存在竞争。

2017年-2019年，华卓精科营收和净利呈逐年增长态势，但其同期收到的政府补助要远大于其营收规模，其中2019年收到的政府补助是其当年净利润的16倍。除此之外，招股书中还透露，其融资渠道较为单一，难以满足该公司快速扩张的需求。

上海微电子光刻机产品

核心产品仅一家客户

虽然被誉为A股“光刻机第一股”，但华卓精科并不能直接生产光刻机整机，其主要产品为光刻机双工件台、超精密测控装备及关键零部件等，而工件台、投影物镜和光源是光刻机的三大核心子系统，其中工件台成本占到整个光刻机成本的10%-20%。

观察者网梳理公开资料发现，在2000年之前，光刻设备只有一个工件台，晶圆片的对准与曝光流程都在上面完成。直到2001年，荷兰ASML推出Twinscan双工件台系统，使光刻机能在一个工件台进行曝光晶圆片，同时在另外一个工作台进行预对准工作，生产效率和精度得到大幅提升。

值得注意的是，虽然双工件台系统仅是增加一个工件台，但技术难度却不容小觑，对工件台转移速度和精度有非常高的要求。此前该产品技术被ASML一家垄断，直到2016年才被清华大学攻克。

当年4月28日，由清华大学机械工程系教授朱煜担任负责人的研发团队，历经5年时间研发的光刻机双工件台系统样机，通过国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（下称：02专项）实施管理办公室的项目验收。而朱煜本人正是华卓精科的实际控制人。

2018年5月，朱煜在接受华璋资本调研时表示，其生产的双工件台打破ASML在工件台上的技术垄断，是世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司，而且在全球能单独供应工件台的也只有华卓精科。

光刻机双工件台  图片来源：清华大学机械工程系官网

在招股书中，华卓精科透露，作为国内首家可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商，其为上海微电子提供光刻机双工件台，并长期保持良好的合作关系，共同进行IC前道光刻机核心技术的研发和IC前道光刻机产品的生产，占据了中国商用光刻机双工件台的主要市场份额。

但是，上海微电子也是华卓精科光刻机双工件台产品的唯一客户。

目前，世界上主要的光刻机生产商包括ASML、尼康、佳能等公司。

其中，尼康和佳能采用In House‖生产模式，即光刻机的主要子系统均由整机厂商研发和生产；ASML早期采用Out House‖生产模式，仅负责整机的设计和子系统的需求定义，各个子系统均由第三方厂商进行研发和生产。2010年后，随着ASML逐步成为光刻机市场霸主，其开始自行设计工件台。

并且，无论采取何种模式研发和生产工件台，上述整机厂商使用的工件台均不单独对外销售。因此，前述机构在调研报告中也提到，华卓精科也是上海微电子唯一的光刻机工件台供应商。

招股书截图

华卓精科披露，目前其光刻机双工件台产品仍处于小批量定制生产阶段，尚未实现规模化量产。

该公司针对国产高端IC前道光刻机的需求推出了DWS和DWSi两种系列的双工件台，前者主要适用于干式步进式扫描光刻机，可用于65nm及以上工艺节点，目前已向上海微电子完成交付；后者适用于浸没式光刻机，可用45nm及以下工艺节点，目前仍处于研发阶段。

谈及光刻机工件台的价格，朱煜曾透露，干式的双工件台约2000万元，浸没式的约6000万元。

有业内人士分析指出，华卓精科的双工件台技术虽然实现从0到1的突破，但是与国外还有一些差距，目前国际先进水平的双工件台技术已运用于7nm，甚至5nm光刻机的生产制造。

而华卓精科光刻机双工件台业务近年来波动也较大。2017-2019年，该产品营收分别为1521万元、795万元和0万元，占主营业务收入比重分别为28.12%、9.28%和0%。

该公司坦言，若其研发的光刻机双工件台因技术或客户需求等原因导致产业化不及预期，则可能对其未来该产品销售收入分别为经营业绩造成不利影响。

除此之外，华卓精科还需要面对另一个不确定因素：其产品和重要客户存在一定竞争。

招股书披露，其以光刻机双工件台的超精密测控技术为基础，开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品。而其光刻机双工件台的唯一客户上海微电子，也是后两大产品的主要供应商。

招股书截图

研发投入依赖政府补助

2012年4月，华卓精科由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和“02专项”支持下创立，初衷是将清华大学在“02专项”中积累的尖端技术落地产业化。

在本次冲刺科创板之前，华卓精科曾于2015年在新三板挂牌，并于2019年2月摘牌。

招股书中披露，本次发行前，因与部分股东保持一致行动关系，清华大学教授、国家02专项技术副总师朱煜实际持股比例合计为54.23%，为华卓精科实际控制人，对其生产经营活动具有重大决策权。

华卓精科表示，控股股东能够通过行使其表决权对其经营活动、重大人事任免以及财务决策等方面产生重大影响，可能会形成有利于控股股东但有损于该公司及其他中小股东的决策，从而存在侵害该公司利益、其他中小股东和社会公众投资者利益的风险。

招股书截图

财务方面，2017年-2019年，华卓精科营收分别为5410.22万元、8570.92万元和1.21亿元；归母净利润分别为1253.21万元、1512.36万元和2087.24万元，呈逐年增长态势。

不过，值得注意的是，华卓精科同期收到的政府补助要远远超过其营收规模，三年分别为6936.83万元、1.39亿元和3.2亿元。

招股书中提到，为鼓励集成电路行业发展，中央财政给予大力支持。如果未来其无法继续享受上述政府补助，将影响该公司的技术研发投入，影响其维持技术先进性，进而可能影响其经营活动。

华卓精科表示，其所在的集成电路设备行业为资金密集型行业，前期研发投入大。2017年-2019年，其研发投入占营收的比例分别为30.75%、96.33%、117.24%。

但其也坦言，为保持竞争优势，该公司在技术开发、产品升级、业务拓展和人力资源等方面都需要投入大量的资金，而其融资渠道较为单一，难以满足该公司快速扩张的需求。

招股书中还提到，虽然近年来中国半导体设备企业发展迅速，但全球半导体设备行业仍由欧美及日韩传统厂商主导，华卓精科与行业龙头企业在品牌知名度和影响力等方面仍有一定差距，这将制约其产品销售和市场拓展的效果。

招股书截图

（编辑：尹哲）

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