EUV光刻机交付延迟，三星3nm量产推迟一年

（文/观察者网 一鸣）4月6日，DigiTimes报道称，三星3nm工艺量产时间可能已经延期至2022年。

据报道，三星原计划在2021年初量产3nm，但新冠疫情蔓延，使得这一计划不得不延期一年。报道援引人士指出，这并非工艺制造上的延迟，而是因为极紫外EUV光刻机等关键设备在物流上出现了问题。

上述媒体指出，当前疫情对物流和交通运输服务造成了影响，导致3nm工艺所需的EUV光刻机和其他关键生产设备的交付延期，进而导致了量产的时间推迟。

三星早在去年就宣布将在3nm节点放弃鳍式场效晶体管（FinFET），转向环绕栅极晶体管（GAAFET）工艺，3nm GAE工艺号称可将核心面积减少45%，功耗降低50%，性能提升35%。

推迟3nm工艺生产的还不止三星一家，三星最大对手台积电也因为疫情的影响，导致半导体设备安装无法按期完成，使得原计划在今年6月份风险试产的3nm FinFET工艺，推迟到了10月。

而相对应的，台积电南科18厂的3nm生产线的完工也将顺延一个季度，这也让原本10月份安装设备的计划推迟到了2021年初。

作为目前全球最先进EUV光刻机的唯一供应商，荷兰阿斯麦尔（ASML）此前下调了今年一季度的业绩预期，由2019年第四季度及全年的业绩报告中预计的31亿欧元到33亿欧元之间，下调到了23亿欧元至24亿欧元之间。

阿斯麦尔称，调整今年一季度的业绩预期，主要还是受当前疫情的影响，影响主要体现在三个方面。一是部分光刻机的出货延迟，导致相应收入确认延迟；二是供应链在一季度出现了问题、三是部分厂商对他们的交付能力存在担忧，为了加快交付进度，部分厂商甚至要求他们在完成正常的工厂验收之前就交付。

虽然下调了一季度的营收预期，但阿斯麦尔的总裁兼CEO彼得·温宁克（Peter Wennink）表示，当前疫情对他们制造能力造成的影响还比较有限，到目前为止，他们还没有看到今年光刻机需求下滑的迹象。

三星和台积电都订购了阿斯麦尔的EUV光刻机。2018年5月，中芯国际也向荷兰阿斯麦尔（ASML）订购了一台最新型的EUV光刻机，价值高达1.5亿美元，原计划在2019年初交付。

不过，由于美国方面阻扰，这项交易至今仍未完成。

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