ASML参展进博会：没带EUV_风闻

11月5日，作为全球芯片光刻技术的佼佼者，荷兰光刻机巨头阿斯麦以“光刻未来，携手同行”为主题，亮相第三届进博会高端装备展区，呈现整体光刻解决方案。

众所周知，光刻机是芯片制造中最重要的设备之一，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

目前，制造7nm工艺以下芯片均需使用EUV光刻机（极紫外光刻），而阿斯麦是全球唯一能生产EUV光刻机的厂商。

不过，由于阿斯麦目前仍不能向中国企业出口EUV光刻机，所以此次在进博会上展示的是其DUV光刻机（深紫外光刻），该产品可生产7nm及以上制程芯片。

11月2日，阿斯麦全球副总裁、中国区总裁沈波在接受采访时表示，该公司在中国大陆地区大大小小装机已经有700台，很多芯片制造企业都是其多年的合作伙伴。2020年第二、第三季度，该公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过全球总台数的20%。

“我们参加进博会是为了表达我们的立场，对开放合作、携手创新的支持。”沈波认为，芯片是目前全球化分工最细致的行业，开放协作是最重要的理念，它能以最高的效率推动技术进步。

沈波

10月中旬，阿斯麦CEO Peter Wennink 在发布第三季财报时透露，根据当前法规，阿斯麦无需获得美国出口许可证便可以继续从荷兰向中国客户出货DUV光刻系统；而对于直接从美国发货系统或零件到受法规影响的客户，该公司需获得许可证。

在被分析师问到美国禁令下其他半导体设备对中国晶圆代工的限制时，Peter Wennink 指出，有很多半导体设备都有替代方案。对于中国公司而言，要找到光刻机的替代很困难，这是晶圆代工厂中最关键的工具，但目前的订购规则允许该公司出货光刻机。

而在9月份，沈波在中国集成电路制造年会上表示，ASML在中国大陆12个城市有办事处或分支机构，2020年中国区有超过1100人的团队，为行业新增和培育了大量光刻技术人才。

“从第一台光刻机开始，ASML就是中国半导体行业的亲历者、见证者、和推动者。未来，ASML还将持续投入、扩大布局、培养人才，携手行业伙伴，和中国半导体产业实现共同发展。”他表示。

作为光刻机领域的世界龙头老大，阿斯麦为何频繁向中国“示好”？

这里需要提一下背景。

9月16日，中科院院长白春礼在国新办发布会上表示，未来十年中科院会针对一些卡脖子的关键问题做一些新的部署，包括航空轮胎、轴承钢、光刻机在内的一些关键核心技术、关键原材料等，中科院将集中全院的力量来做。

另外，虽然全世界目前只有阿斯麦可以造EUV光刻机，但EUV之外的光刻机，日本尼康和佳能也可以制造。10月12日，日经新闻就报道称，中国企业拟向两家日本公司提供资金，要求共同开发除EUV以外的新型光刻机。

而在国家战略层面，不久前发布的中共十九届中央委员会第五次全体会议公报中强调，坚持创新在我国现代化建设全局中的核心地位，把科技自立自强作为国家发展的战略支撑，面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康，深入实施科教兴国战略、人才强国战略、创新驱动发展战略，完善国家创新体系，加快建设科技强国。

从以上信息可以看出，国家、企业、科研院所将共同发力，力争攻克关键技术，实现科技自立。

这或许让阿斯麦感到紧张了，如果中国攻克光刻机的关键技术，哪怕只是DUV，对前者在中国市场得营收影响都不容小觑。

同时需要注意的是，阿斯麦在财报会上仅提到DUV可向中国出口，却闭口不谈EUV，是否可以理解为“两面下注”，既要在中国市场赚钱，又不敢得罪美国。

由此可以看出，掌握核心科技才是中国企业最好的出路。