青山湖科技城打造微纳技术研发开放平台

科技日报杭州11月25日电 （记者江耘 实习生黄龄亿）24日，2019青山湖集成电路产业发展研讨会暨毛钧业先生诞辰100周年纪念会在杭州青山湖科技城举行。记者了解到，青山湖科技城依托多个国家科技重大专项，培育发展集成电路产业，打造微纳智造小镇，在不到两年时间里集聚了37个总投资260余亿元的产业链项目。

青山湖科技城于2009年11月30日奠基建设，今年该城建设10周年。临安区委常委、青山湖科技城党工委书记王翔介绍，十年实业，制造智城，青山湖科技城正大力推进集成电路数字产业化、装备制造产业数字化。集成电路相关产业主要集中在微纳智造小镇。

杭州市政府党组成员、杭州城西科创产业集聚区党工委书记、管委会主任李玲介绍道，青山湖微纳智造小镇已被列入浙江重要的集成电路产业培育基地。下一步，将在区域规划、产业重大项目布局、政策资金等方面，给予更多更大支持和倾斜。

青山湖微纳技术研发开放平台（以下简称微纳平台）是青山湖科技城今年打造的一个重要平台。据了解，微纳平台是以12英寸特色高端芯片工艺研发为核心，覆盖通用芯片设计和测试服务的开放性平台，其主要功能包括电路设计、工艺研发、小批量产、测试分析等。

浙江省自旋电子材料器件与系统重点实验室总监孟皓介绍道，目前，该平台已拥有光刻机等60多台套关键设备、2300平方米洁净室、核心技术骨干专家170余人，可为集成电路企业提供技术研发、创新平台和小批量量产、中试等服务。

王翔表示，青山湖微纳技术研发开放平台，为全国的微纳技术企业、科研机构，提供芯片设计、研发、流片、测试服务。

有了政府的持续推进，外加产学研合作的良好基础。微纳小镇吸引了18个项目落地运行和建设。如驰拓科技新型高端存储芯片研发中试基地全面投用；启尔机电刻光刻机浸液系统研制与中试基地项目全面投用、科研人员全部入驻；清华大学华卓精科光刻机工件台项目已动建。