传台积电将购入18台EUV光刻机 7nmEUV最快3月量产

（观察者网讯）据台湾科技类网站2月12日消息，为延续7纳米制程领先优势，台积电支持极紫外光(EUV)微影技术的7纳米加强版(7+)制程将按既定时间于3月底正式量产，而全程采用EUV技术的5纳米制程也将在2019年第2季进入风险试产。

据了解，独家提供EUV设备的ASML，先前预估2019年EUV机台设备销售总量将达30台，当中台积电就砸下重金订购18台，显见7纳米、5纳米EUV制程推进相当顺利。台积电以强劲技术实力与庞大资本支出已将竞争门坎筑高，与三星电子实力差距可望在EUV时代中快速拉开。

台积电 图片来自台媒

随着GlobalFoundries(GF)于2018年8月宣布搁置百亿美元投资的7纳米制程计划，7纳米以下先进制程技术战场形成台积电、三星与英特尔三雄对战情势。

而单就代工来看，英特尔因苦陷10纳米制程延迟困境，已无暇顾及代工事业，目前几已是淡出晶圆代工市场状态，因此，7纳米以下晶圆代工战局已是三星、台积电双雄对决战局，不过随着台积电7纳米/5纳米EUV制程进展顺利，而三星依旧未见重量级客户大单落袋，台积电在7纳米以下先进制程领先幅度正持续扩大中。

半导体设备业者表示，截至目前为止，台积电已于2018年4月抢先进入7纳米时代，并囊括苹果(Apple)、高通(Qualcomm)、华为海思、超威(AMD)、赛灵思(Xilinx)等国际大厂大单，且支持EUV技术的7+制程应会在3月底正式量产。

台积电先进制程持续按计划进行，据了解，7纳米EUV制程将在2019年3月底量产，7纳米加上7纳米EUV制程，估计至2019年底Tape out将超过100个，2019年下半7纳米贡献将增速 ，受惠手机新品出货进入旺季及高速运算(HPC)产品开始小量出货，7纳米制程全年营收比重将可达25%，较2017年9%大幅提升，不过，7纳米EUV制程比重相当低。

据了解，独家提供要价超过1亿美元EUV设备系统的ASML，先前预估2019年EUV机台设备销售总量将达30台，当中台积电就砸下重金订购18台，显见7纳米5纳米EUV制程推进相当顺利，其余12台订单客户则是英特尔、三星等DRAM客户，而中芯也在2018年下单1台。