常州比太科技研发出多晶硅电池干法制绒装备

科技日报讯 （吴宁轶 胡满朝 记者丁秀玉）记者8月25日在常州比太科技有限公司获悉，该公司自主研发生产的新一代多晶硅电池RIE干法制绒装备Tysol3000-RIE成功出货晶澳太阳能公司。比太科技在等离子干法刻蚀上的突破是高端装备技术的重大进步，解决了我国太阳能电池制造核心技术依赖进口问题，为我国太阳能电池技术持续进步提供了有力支撑。

比太科技是专注于新一代高效太阳能电池装备的研发和制造，由美国硅谷的金沙江创投（GSR Venture）一期投资1000万美元创立。比太科技基于自主研发的线性等离子源技术，成功开发出了Tysol-RIE系列干法制绒设备，成为国内业界唯一实现RIE干法制绒技术量产化的设备制造企业。

据了解，经过相关工艺优化，比太科技的干法制绒比传统湿法制绒，可将多晶硅电池的转换效率提升0.8%以上，使目前量产的多晶硅电池效率从18%左右提升到接近19%，目前该技术受到业内主流光伏制造商的广泛关注。据晶澳公司的宣布，以黑硅电池做成的6×10“润秀”电池组件功率平均达到了275瓦，比目前市场上常规多晶电池组件的功率提高15瓦，相应的单位发电量增加6%， 使相关的发电系统成本大幅度降低。

曾在美国留学，多年从事于等离子镀膜技术开发研究的常州比太科技科技创始人兼CEO上官泉元告诉记者，干法制绒黑硅是能以最低成本投入，获得最大效益的技术，并可以嫁接到传统的电池生产线上，为我国太阳能电池技术进步提供解决方案。干法制绒不仅可以用于常规多晶硅电池，而且对金钢线切割的硅片也能达到同样效果，为进一步减少硅片厚度，降低太阳能电池成本奠定了基础。比太科技创始人兼总裁李剑说：“最近，我们连续接到多台订单，并有多家太阳能电池生产厂正积极跟进，预期黑硅技术将被扩大采用并成为多晶电池的标准工艺。我们的黑硅电池可叠加匹配PERC电池突破多晶20%的效率，达到290—295瓦的组件功率，奠定了中国晶硅电池产业的技术升级基础。”

据悉，国内现有超过40GW产能的多晶硅电池生产线，同时市场规模以每年20%的速度在增长。采用干法制绒替代现有湿法制绒可以对旧线改造，也可以在建造新线时实现，1台Tysol-3000 RIE设备每年可以生产100兆瓦（100MW）电池，所以1GW约需要10台设备，具有很大的市场潜力。