闪耀与崛起:如何去除芯片灰尘 - 彭博社
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悬浮将成为高科技的下一个奇迹吗?可能会。但你需要仔细观察才能看到它。Radiance Services Co.,一家位于马里兰州贝塞斯达的半导体行业供应商,正在开发悬浮技术,主要用于从硅晶圆上提起微尘。
芯片上印刷的电路线路如此之小,以至于微观的污垢颗粒可以像山路上的山体滑坡一样具有毁灭性。尽管清洁程序让医院看起来像猪圈,半导体工厂仍然常常因为污染而丢弃10%到30%的芯片。部分原因是,今天的清洁技术通常无法捕捉到小于0.3微米的颗粒,Radiance的总裁Donna R. Fitzpatrick说。
为了避免这种缺陷,她建议将微尘放在聚光灯下。用合适波长的激光光照射它,可以激发足够的原子使颗粒颤动并脱落。然后它们会在惰性气体的流动中被迅速带走。一个演示线正在国防部的
微电子研究实验室安装,位于马里兰州哥伦比亚。